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Compact Lens-less Digital Holographic Microscope de Inspeção MEMS e Caracterização
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Capítulos
- 00:05Título
- 01:05Preparations
- 03:52Data Acquisition
- 05:38Data Analysis for Static Measurements
- 06:40Sample Preparation and Data Analysis for Dynamic Measurements
- 07:42Results: CDHM Compared to Atomic Force Microscopy and Other Results
- 09:17Conclusion
Nós apresentamos um sistema holográfico digital compacta reflexão (CDHM) para inspeção e caracterização de dispositivos de MEMS. Um design de lente-less usando uma onda de entrada divergentes proporcionando ampliação geométrica natural é demonstrado. Ambos os estudos estáticos e dinâmicos são apresentados.
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