/
/
Compact-Objektiv lose digitale holografische Mikroskop für MEMS-Inspektion und Charakterisierung
É necessária uma assinatura da JoVE para visualizar este conteúdo. Faça login ou comece sua avaliação gratuita.
Capítulos
- 00:05Título
- 01:05Preparations
- 03:52Data Acquisition
- 05:38Data Analysis for Static Measurements
- 06:40Sample Preparation and Data Analysis for Dynamic Measurements
- 07:42Results: CDHM Compared to Atomic Force Microscopy and Other Results
- 09:17Conclusion
Wir präsentieren eine kompakte Reflexion digitale holografische System (CDHM) zur Inspektion und Charakterisierung von MEMS-Bauelementen. Ein linsenloses Design einen divergierenden Eingangswelle bietet natürliche geometrische Vergrößerung verwendet wird demonstriert. Sowohl statische als auch dynamische Studien vorgestellt.
Tags
Compact Lens-less Digital Holographic MicroscopeMEMS InspectionMEMS CharacterizationOptical Full-field MeasurementsComputational TechniquesExperimental TechniquesSemiconductor IndustryMechanical PropertiesManufacturing StagesNon-contactReal-timeHigh-resolution3D MapReflective ObjectWafer InspectionOptics Reference TestingTransparent GeometryMicro-optics InspectionDiffractive Optics InspectionBioimagingCompact Digital Holographic Microscope (CDHM)Silicon Wafer CharacterizationGold Electrodes
