/
/
Compact Lens-less Digitale Holografische Microscoop voor MEMS Inspectie en karakterisering
É necessária uma assinatura da JoVE para visualizar este conteúdo. Faça login ou comece sua avaliação gratuita.
Capítulos
- 00:05Título
- 01:05Preparations
- 03:52Data Acquisition
- 05:38Data Analysis for Static Measurements
- 06:40Sample Preparation and Data Analysis for Dynamic Measurements
- 07:42Results: CDHM Compared to Atomic Force Microscopy and Other Results
- 09:17Conclusion
We presenteren een compact reflectie digitale holografische systeem (CDHM) voor inspectie en karakterisering van MEMS. Een lens-less ontwerp met behulp van een divergerende ingang golf verstrekken van natuurlijke geometrische vergroting wordt aangetoond. Zowel statische als dynamische studies worden gepresenteerd.
Tags
Compact Lens-less Digital Holographic MicroscopeMEMS InspectionMEMS CharacterizationOptical Full-field MeasurementsComputational TechniquesExperimental TechniquesSemiconductor IndustryMechanical PropertiesManufacturing StagesNon-contactReal-timeHigh-resolution3D MapReflective ObjectWafer InspectionOptics Reference TestingTransparent GeometryMicro-optics InspectionDiffractive Optics InspectionBioimagingCompact Digital Holographic Microscope (CDHM)Silicon Wafer CharacterizationGold Electrodes
