Journal
/
화학
/
Effekten av anodisering parametrar på aluminiumoxid dielektriska lagret av thin-film transistorer
JoVE 신문
화학
Author Produced
JoVE 비디오를 활용하시려면 도서관을 통한 기관 구독이 필요합니다.  전체 비디오를 보시려면 로그인하거나 무료 트라이얼을 시작하세요.
JoVE 신문 화학
The Effect of Anodization Parameters on the Aluminum Oxide Dielectric Layer of Thin-Film Transistors
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Effekten av anodisering parametrar på aluminiumoxid dielektriska lagret av thin-film transistorer

8,567 Views

•

12:32 min

•

May 24, 2020

DOI:

10.3791/60798-v

DOI:
10.3791/60798-v

•

12:32 min
May 24, 2020

•

11 Views
, , , ,
1School of Technology and Sciences,São Paulo State University – UNESP, 2Scholl of Electronic Engineering,Bangor University, 3Institute of Geosciences and Exact Sciences,São Paulo State University – UNESP

Summary

Automatically generated

Anodisering parametrar för tillväxt av aluminium-oxid dielektriska skiktet av zink-oxid tunnfilm transistorer (TFTs) varieras för att bestämma effekterna på den elektriska parametern svar. Analys av varians (ANOVA) tillämpas på en Plackett-Burman-design av experiment (DOE) för att bestämma de tillverkningsförhållanden som resulterar i optimerad enhetsprestanda.

Explore More Videos

Aluminum OxideAnodizationThin-film TransistorsDielectric LayerElectrolytic SolutionSubstrate CleaningAluminum Electrode DepositionAnodization ProcessElectrical CharacterizationPlackett-Burman Design Of Experiments

Read Article

Cite this Article

Gomes, T. C., Kumar, D., Alves, N., Kettle, J., Fugikawa-Santos, L. The Effect of Anodization Parameters on the Aluminum Oxide Dielectric Layer of Thin-Film Transistors. J. Vis. Exp. (159), e60798, doi:10.3791/60798 (2020).

Download .ris file

Copy

Share Video

.

Copy