Journal
/
화학
/
Óxido de nióbio filmes depositados por sputtering reativa: efeito da taxa de fluxo de oxigênio
JoVE 신문
화학
JoVE 비디오를 활용하시려면 도서관을 통한 기관 구독이 필요합니다.  전체 비디오를 보시려면 로그인하거나 무료 트라이얼을 시작하세요.
JoVE 신문 화학
Niobium Oxide Films Deposited by Reactive Sputtering: Effect of Oxygen Flow Rate

Óxido de nióbio filmes depositados por sputtering reativa: efeito da taxa de fluxo de oxigênio

DOI:
10.3791/59929-v

•

08:23 min

•

September 28, 2019

•

, , , , ,
1Chemistry Department,Federal University of São Carlos (UFSCAR), 2Physics Department, School of Sciences,São Paulo State University (UNESP)

Chapters

  • 00:04Title
  • 00:47Niobium Oxide Film Deposition
  • 03:55Solar Cell Construction
  • 05:46Results: The Effects of Oxygen Flow Rates on Reactive Sputtering
  • 07:23Conclusion

Summary

자동 번역

자동 번역

Aqui, nós apresentamos um protocolo para o depósito das películas do óxido do nióbio pelo sputtering reactivo com taxas de fluxo diferentes do oxigênio para o uso como uma camada do transporte do elétron em pilhas solares do perovskita.

Tags

Reactive SputteringNiobium Oxide FilmsOxygen Flow RateThin Film DepositionSubstrate PreparationSputtering Process ParametersFilm ThicknessPlasma CleaningImpedance Matching

Article

Embed

플레이리스트에 추가

Usage Statistics

Related Videos

Templates atomicamente definidos para crescimento epitaxial do Complexo Óxido Filmes Finos

Fabricação de grande-área royalty-pé ultrafinos Polymer Films

Desvendando Aceleração Entropic Taxa Induzida por solventes Dynamics na membrana Enzimas

Arrefecimento Medidas de freqüência Elipsometria Dependentes para determinar a dinâmica de finas Glassy Films

Preparação de macroporosas Epitaxial quartzo Filmes sobre Silicon Chemical Solution Deposition por

Dissolução dinâmico Nuclear Polarização Instrumentação para em tempo real enzimática Reaction Taxa de Medições por RMN

Aerossol-assistida de deposição de Vapor químico de estruturas de óxido de Metal: hastes de óxido de zinco

Depósito de Vapor reativa dos filmes de polímeros conjugados em substratos arbitrários

Síntese de Solvothermal de MIL-96 e UiO-66-NH2 na camada atômica depositado revestimentos de óxido metálico em esteiras de fibra

Ajuste das propriedades do óxido pelo controle de vacância de oxigênio durante o crescimento e recozimento

Read Article