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성장 및 어닐링 중 산소 공극 제어에 의한 산화물 특성 조정
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Tuning Oxide Properties by Oxygen Vacancy Control During Growth and Annealing
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성장 및 어닐링 중 산소 공극 제어에 의한 산화물 특성 조정

DOI:
10.3791/58737-v

•

06:44 min

•

June 09, 2023

•

, , , , , ,
1Department of Energy Conversion and Storage,Technical University of Denmark, 2Beijing National Laboratory for Condensed Matter Physics and Institute of Physics,Chinese Academy of Sciences

Chapters

  • 00:05Introduction
  • 00:48Controlling Properties by Varying Growth Conditions
  • 03:26Controlling Properties by Thermal Annealing
  • 04:23Results: Electronic Properties of SrTiO3-Based Heterostructures Tuned by Growth Modifications and Annealing
  • 06:13Conclusion

Summary

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산화물 물질은 산소 함량을 조정하여 제어할 수 있는 많은 이국적인 특성을 보여줍니다. 여기에서는 펄스 레이저 증착 매개변수를 변경하고 사후 어닐링을 수행하여 산화물의 산소 함량 조정을 보여줍니다. 예를 들어, SrTiO3 기반 헤테로 구조의 전자적 특성은 성장 변형 및 어닐링에 의해 조정됩니다.

Tags

Oxygen VacancyOxide Thin FilmsDefect EngineeringStrontium TitanateSubstrate CleaningSurface TerminationThin Film DepositionGamma Alumina

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