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화학
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金属氧化物结构的气溶胶辅助化学气相沉积: 氧化锌棒
JoVE 신문
화학
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JoVE 신문
화학
Aerosol-assisted Chemical Vapor Deposition of Metal Oxide Structures: Zinc Oxide Rods
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金属氧化物结构的气溶胶辅助化学气相沉积: 氧化锌棒
DOI:
10.3791/56127-v
•
06:39 min
•
September 14, 2017
•
Stella Vallejos
2
,
Naděžda Pizúrová
,
Jan Čechal
,
Isabel Gràcia
,
Carles Cané
1
Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC)
,
2
SIX Research Centre
,
Brno University of Technology
,
3
Institute of Physics of Material
,
Academy of Science of Czech Republic
,
4
Institute of Physical Engineering and Central European Institute of Technology
,
Brno University of Technology
Chapters
00:05
Title
00:51
Preparation of Substrates and Set-up of Deposition Temperature
02:08
Preparation of Solution for Aerosol Generation
03:02
Chemical Vapor Deposition Process
04:00
Results: Characterization of Zinc Oxide Rods Deposited on Silicon Substrates via Chemical Vapor Deposition
05:39
Conclusion
Summary
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자동 번역
在不使用 pre-deposited 催化剂-种子颗粒的情况下, 通过气溶胶辅助化学气相沉积法合成柱状氧化锌结构。这种方法是可伸缩和兼容的各种基板的基础上, 无论是硅, 石英或聚合物。
Tags
Aerosol-assisted Chemical Vapor Deposition
Metal Oxide Structures
Zinc Oxide Rods
Silicon Substrate
Catalyst-free Growth
Low-temperature Deposition
Gas Sensors
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