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Herstellung von 3D-Carbon-Mikroelektromechanischen Systemen (C-MEMS)
JoVE 신문
공학
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JoVE 신문 공학
Fabrication of 3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS)
DOI:

08:01 min

June 17, 2017

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Chapters

  • 00:05Title
  • 01:473D Polymer-based Carbon Structure Fabrication
  • 05:123D Human Hair-derived Carbon Structure Fabrication
  • 06:19Results: Human Hair-derived 3D Carbon Microstructures
  • 07:21Conclusion

Summary

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Lange und hohle glasartige Kohlenstoffmikrofasern wurden auf der Basis der Pyrolyse eines Naturproduktes, menschliches Haar, hergestellt. Die beiden Herstellungsschritte von kohlenstoffmikroelektromechanischen und kohlenstoff-nanoelektromechanischen Systemen oder C-MEMS und C-NEMS sind: (i) Photolithographie eines kohlenstoffreichen Polymervorläufers und (ii) Pyrolyse des gemusterten Polymervorläufers.

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