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制备纳米设计的脉冲激光沉积透明导电氧化物
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공학
Fabrication of Nano-engineered Transparent Conducting Oxides by Pulsed Laser Deposition
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制备纳米设计的脉冲激光沉积透明导电氧化物
DOI:
10.3791/50297-v
•
10:27 min
•
February 27, 2013
•
Paolo Gondoni
,
Matteo Ghidelli
,
Fabio Di Fonzo
2
,
Andrea Li Bassi
2
,
Carlo S. Casari
1
Department of Energy and NEMAS – Center for NanoEngineered Materials and Surfaces
,
Politecnico di Milano
,
2
Center for Nano Science and Technology
,
Instituto Italiano di Tecnologia
Chapters
00:05
Title
01:30
Substrate Preparation
02:01
Laser Alignment and Selection of Laser Parameters
03:33
Target Alignment, Pre-ablation and Data Collection for Plasma Plume Length Determination
04:51
Calibration of the Film Thickness
05:58
Deposition of Compact AZO Films
07:25
Deposition of Hierarchically Structured AZO Films
08:08
Results: Compact and Forest-like AZO Films and Their Properties
09:39
Conclusion
Summary
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我们描述了实验的背景气体的存在下,在纳秒的脉冲激光沉积(PLD)方法来沉积纳米结构的氧化物薄膜。通过使用此方法的掺Al的ZnO(AZO)膜,从紧凑型分层结构为纳米树森林,可以沉积。
Tags
Pulsed Laser Deposition
Transparent Conducting Oxides
Al-doped ZnO
Nanostructured Films
Hierarchical Structures
Light Scattering
Light Trapping
Thin Films
Metal Oxides
Photovoltaics
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