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생명 의학 어플리케이션에 대 한 포토 레지스트 스프레이 코팅 및 유연한 포토 마스크를 사용 하 여 피하 주사 바늘 끝에 미세 전극의 제조
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Fabrication of Fine Electrodes on the Tip of Hypodermic Needle Using Photoresist Spray Coating and Flexible Photomask for Biomedical Applications
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생명 의학 어플리케이션에 대 한 포토 레지스트 스프레이 코팅 및 유연한 포토 마스크를 사용 하 여 피하 주사 바늘 끝에 미세 전극의 제조

DOI:
10.3791/56622-v

•

08:15 min

•

November 28, 2017

•

, ,
1Department of Biomedical Science and Engineering,Gwangju Institute of Science and Technology (GIST), 2機械工学部,Gwangju Institute of Science and Technology (GIST)

章

  • 00:05標題
  • 00:50Needle Preparation: Insulation, Sputtering, and Spray Coating
  • 02:59UV Exposure and Developing
  • 04:24Chromium/Gold Wet Etching and Removal of Residual Photoresist and Passivation
  • 05:44Results: Fine Electrode Fabrication
  • 07:33Conclusion

概要

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정밀한 센서 전극의 제조 방법 (간격과 폭: 20 µ m) 피하 주사 바늘의 끝에 (직경: 720 µ m)는 사진 평판 과정에서 스프레이 코팅 및 유연한 필름 포토 마스크를 사용 하 여 보여 줍니다.

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FabricationFine ElectrodesHypodermic NeedlePhotoresistSpray CoatingFlexible PhotomaskBiomedical ApplicationsMicro Diode SensorDrug DeliveryBiopsySurgeryCauterizing ElectrophotometerHeat Shrink TubeSputteringChromiumGoldSoft BakingPhotolithographyAlignmentCCD Display Monitor

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