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用光刻胶喷涂和柔性掩制备医用注射用针尖上的微细电极
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Fabrication of Fine Electrodes on the Tip of Hypodermic Needle Using Photoresist Spray Coating and Flexible Photomask for Biomedical Applications
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用光刻胶喷涂和柔性掩制备医用注射用针尖上的微细电极

DOI:
10.3791/56622-v

•

08:15 min

•

November 28, 2017

•

, ,
1Department of Biomedical Science and Engineering,Gwangju Institute of Science and Technology (GIST), 2機械工学部,Gwangju Institute of Science and Technology (GIST)

章

  • 00:05標題
  • 00:50Needle Preparation: Insulation, Sputtering, and Spray Coating
  • 02:59UV Exposure and Developing
  • 04:24Chromium/Gold Wet Etching and Removal of Residual Photoresist and Passivation
  • 05:44Results: Fine Electrode Fabrication
  • 07:33Conclusion

概要

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指电极的制作方法 (间隙和宽度:20 µm) 在皮下针 (直径: 720 µm) 是使用喷雾涂层和柔性膜掩在光刻过程中演示。

タグ

FabricationFine ElectrodesHypodermic NeedlePhotoresistSpray CoatingFlexible PhotomaskBiomedical ApplicationsMicro Diode SensorDrug DeliveryBiopsySurgeryCauterizing ElectrophotometerHeat Shrink TubeSputteringChromiumGoldSoft BakingPhotolithographyAlignmentCCD Display Monitor

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