ठोस और झरझरा सिलिकॉन वेफर्स में उप-20 एनएम आकार सटीकता के साथ 3 डी माइक्रोस्केल सुविधाओं के धातु-सहायता प्राप्त रासायनिक छाप के लिए एक प्रोटोकॉल प्रस्तुत किया गया है।

झरझरा और ठोस सिलिकॉन वेफर्स की धातु-सहायता प्राप्त इलेक्ट्रोकेमिकल नैनोइम्प्रिंटिंग

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