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Fabrication of Nanoheight Channels Incorporating Surface Acoustic Wave Actuation via Lithium Niobate for Acoustic Nanofluidics
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Herstellung von Nanohöhenkanälen mit Oberflächen-Akustikwellenbetätigung über Lithiumniobat für akustische Nanofluidik

DOI:
10.3791/60648-v

•

07:23 min

•

February 05, 2020

•

,
1Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering, and the Department of Surgery, School of Medicine,University of California San Diego

Kapitel

  • 00:05Introduction
  • 00:54Nano-height Channel Mask Preparation
  • 01:53Nano-height Channel Fabrication
  • 02:49Room Temperature Plasma-activated Bonding
  • 04:56Experimental Setup and Testing
  • 05:54Results: Representative Fluid Capillary Filling and Surface Acoustic Wave (Saw)-Induced Fluid Draining
  • 06:45Conclusion

Summary

Automatische Übersetzung

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Wir demonstrieren die Herstellung von Nanohöhenkanälen mit der Integration von Oberflächen-Akustikwellenbetätigungsgeräten auf Lithiumniobat für akustische Nanofluidik mittels Liftoff-Photolithographie, nano-tiefen reaktiver Ionenätzung und Raumtemperatur-Plasma oberflächenaktivierte Mehrschichtbindung von Einkristall-Lithiumniobat, ein Prozess, der ähnlich nützlich ist, um Lithiumniobat mit Oxiden zu verkleben.

Tags

Nanoheight ChannelsSurface Acoustic WaveLithium NiobateAcoustic NanofluidicsNanofabricationPlasma BondingPhotolithographyReactive Ion EtchingChromium EtchingSolvent Cleaning

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