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通过用于声学纳米流体的尼奥布精锂结合表面声波驱动纳米高通道的制造

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Ingenieurwesen

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Fabrication of Nanoheight Channels Incorporating Surface Acoustic Wave Actuation via Lithium Niobate for Acoustic Nanofluidics

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通过用于声学纳米流体的尼奥布精锂结合表面声波驱动纳米高通道的制造

DOI:

10.3791/60648-v

•

07:23 min

•

February 05, 2020

•

Naiqing Zhang, James Friend

¹Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering, and the Department of Surgery, School of Medicine,University of California San Diego

Kapitel

00:05Introduction
00:54Nano-height Channel Mask Preparation
01:53Nano-height Channel Fabrication
02:49Room Temperature Plasma-activated Bonding
04:56Experimental Setup and Testing
05:54Results: Representative Fluid Capillary Filling and Surface Acoustic Wave (Saw)-Induced Fluid Draining
06:45Conclusion

Summary

Automatische Übersetzung

通过提升光刻、纳米深度反应离子蚀刻和室温等离子体，演示了纳米高通道的制造，通过提升光刻、纳米深度反应离子蚀刻和室温等离子体，将表面声波驱动装置集成在硅基硅基硅基上单晶尼欧比锂的表面激活多层粘接，这一工艺同样适用于将氮化锂与氧化物粘接。

Tags

Nanoheight Channels Surface Acoustic Wave Lithium Niobate Acoustic Nanofluidics Nanofabrication Plasma Bonding Photolithography Reactive Ion Etching Chromium Etching Solvent Cleaning

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