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Fabricación de canales de nanoaltura que incorporan la actuación de onda acústica superficial a través de niobato de litio para nanofluídicos acústicos
JoVE Journal
Ingenieurwesen
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JoVE Journal Ingenieurwesen
Fabrication of Nanoheight Channels Incorporating Surface Acoustic Wave Actuation via Lithium Niobate for Acoustic Nanofluidics
DOI:

07:23 min

February 05, 2020

,

Kapitel

  • 00:05Introduction
  • 00:54Nano-height Channel Mask Preparation
  • 01:53Nano-height Channel Fabrication
  • 02:49Room Temperature Plasma-activated Bonding
  • 04:56Experimental Setup and Testing
  • 05:54Results: Representative Fluid Capillary Filling and Surface Acoustic Wave (Saw)-Induced Fluid Draining
  • 06:45Conclusion

Summary

Automatische Übersetzung

Demostramos la fabricación de canales de nanoaltura con la integración de dispositivos de accionamiento de ondas acústicas superficiales sobre niobato de litio para nanofluídicos acústicos a través de fotolitografía de despegue, grabado de iones reactivos de nanoprofundidad y plasma a temperatura ambiente la unión multicapa activada por superficie de niobato de litio de un solo cristal, un proceso igualmente útil para unir el niobato de litio a los óxidos.

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