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Fabrication of 3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS)
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3D 탄소 미세 전자 기계 시스템 (C-MEMS) 제작

DOI:
10.3791/55649-v

•

08:01 min

•

June 17, 2017

•

, , ,
1School of Engineering and Sciences,Tecnologico de Monterrey, 2Department of Mechanical and Aerospace Engineering,University of California, 3BBB Inc

Kapitel

  • 00:05Titel
  • 01:473D Polymer-based Carbon Structure Fabrication
  • 05:123D Human Hair-derived Carbon Structure Fabrication
  • 06:19Results: Human Hair-derived 3D Carbon Microstructures
  • 07:21Conclusion

Summary

Automatische Übersetzung

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길고 중공 유리질 탄소 미세 섬유는 천연물 인 인간의 머리카락을 열분해하여 제조되었습니다. 탄소 미세 전자 기계 및 탄소 나노 전자 기계 시스템, 또는 C-MEMS 및 C-NEMS의 두 제조 단계는 (i) 탄소가 풍부한 중합체 전구체의 포토 리소그래피 및 (ii) 패턴 화 된 중합체 전구체의 열분해이다.

Tags

3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS)Carbon Microelectromechanical SystemsPolymer PrecursorCarbon FabricationCarbon StructuresIsometric ShrinkageCarbon AllotropesGraphiticDiamond-likeGlassy CarbonPolymer Structure FabricationSpin CoatingPhotoresistPhotolithography

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