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Fabrication of 3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS)

Fabricação de sistemas 3D Microelectromecânicos de Carbono (C-MEMS)

DOI:
10.3791/55649-v

•

08:01 min

•

June 17, 2017

•

, , ,
1School of Engineering and Sciences,Tecnologico de Monterrey, 2Department of Mechanical and Aerospace Engineering,University of California, 3BBB Inc

Kapitel

  • 00:05Titel
  • 01:473D Polymer-based Carbon Structure Fabrication
  • 05:123D Human Hair-derived Carbon Structure Fabrication
  • 06:19Results: Human Hair-derived 3D Carbon Microstructures
  • 07:21Conclusion

Summary

Automatische Übersetzung

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As microfibras de carbono vítreas longas e vazias foram fabricadas com base na pirólise de um produto natural, cabelo humano. As duas etapas de fabricação de sistemas microelectromecânicos de carbono e nanoelectromecânicos de carbono, ou C-MEMS e C-NEMS, são: (i) fotolitografia de um precursor de polímero rico em carbono e (ii) pirólise do precursor de polímero padronizado.

Tags

3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS)Carbon Microelectromechanical SystemsPolymer PrecursorCarbon FabricationCarbon StructuresIsometric ShrinkageCarbon AllotropesGraphiticDiamond-likeGlassy CarbonPolymer Structure FabricationSpin CoatingPhotoresistPhotolithography

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