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Lens-meno compatta digitale olografico microscopio per MEMS di ispezione e caratterizzazione
JoVE Journal
Ingenieurwesen
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JoVE Journal Ingenieurwesen
Compact Lens-less Digital Holographic Microscope for MEMS Inspection and Characterization
DOI:

10:28 min

July 05, 2016

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Kapitel

  • 00:05Titel
  • 01:05Preparations
  • 03:52Data Acquisition
  • 05:38Data Analysis for Static Measurements
  • 06:40Sample Preparation and Data Analysis for Dynamic Measurements
  • 07:42Results: CDHM Compared to Atomic Force Microscopy and Other Results
  • 09:17Conclusion

Summary

Automatische Übersetzung

Vi presentiamo una riflessione compatto sistema olografico digitale (CDHM) per l'ispezione e la caratterizzazione di dispositivi MEMS. Lo dimostra una lente-less con un'onda d'ingresso divergente fornendo naturale ingrandimento geometrico. Entrambi gli studi statici e dinamici sono presentati.

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