This content is Free Access.
Chapters
- 00:04Introduction
- 01:02Sample Preparation for Photolithography
- 01:41Performing the Photo-Resist Patterning
- 02:40Wet-etching and FIB Milling
- 03:34Micro-Tensile Test
- 04:12Results: Analysis of the Prepared Steel Surface
- 04:56Conclusion
מוצג כאן הליך למדידת תכונות חומר בסיסיות באמצעות בדיקות מתח מיקרומכניות. מתוארות השיטות לייצור דגימת מיקרו-מתיחה (המאפשרת ייצור מיקרו-דגימה מהיר מנפחי חומרים בתפזורת על ידי שילוב פוטוליתוגרפיה, תחריט כימי וכרסום קרן יונים ממוקד), שינוי קצה כניסה ובדיקת מתח מיקרומכני (כולל דוגמה).
