Hier wordt een procedure gepresenteerd voor het meten van fundamentele materiaaleigenschappen door middel van micromechanische spanningstests. Beschreven zijn de methoden voor de fabricage van micro-trekmonsters (waardoor snelle fabricage van micromonsters uit bulkmateriaalvolumes mogelijk is door fotolithografie, chemisch etsen en gericht ionenbundelfrezen te combineren), wijziging van de indrukkerpunt en micromechanische spanningstests (inclusief een voorbeeld).