ويرد بروتوكول مما يدل على تقنية تصنيع خطوتين للنمو كبيرة الحجم طبقة واحدة رقائق سنسي على شكل مستطيل على التكلفة المنخفضة SiO2/Si العوازل رقائق في نظام فرن أنبوب كوارتز ضغط الجوي.