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기울기 각도 증 착을 사용 하 여 미디어를 흡수 하는 높은 가진 매우 얇은 필름의 제조
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Fabrication of Ultra-thin Color Films with Highly Absorbing Media Using Oblique Angle Deposition
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기울기 각도 증 착을 사용 하 여 미디어를 흡수 하는 높은 가진 매우 얇은 필름의 제조

DOI:
10.3791/56383-v

•

06:30 min

•

August 29, 2017

•

, , ,
1School of Electrical Engineering and Computer Science,Gwangju Institute of Science and Technology, 2Department of Robotics Engineering,Daegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology

Chapters

  • 00:05Title
  • 00:56Substrate Preparation and Oblique Angle Deposition of Germanium
  • 03:23Oblique Angle Deposition of Ge on Large Substrates
  • 04:50Results: Ultra-thin Color Films
  • 05:40Conclusion

Summary

Automatic Translation

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우리 광학 코팅을 위한 향상 된 특성을 가진 매우 얇은 컬러 필름 날조를 위한 자세한 방법 제시. 전자 빔 증발 기를 사용 하 여 기울기 각도 증 착 기술 향상 된 색상 tunability 고 순도 수 있습니다. Si 기판에 Ge 및 Au의 조작된 영화 반사율 측정 및 색상 정보 변환에 의해 분석 되었다.

Tags

Keywords: Ultra-thin Color FilmsOblique Angle DepositionPorosity ControlThin Film ColorationOptical Resonance ApplicationsNanofabricationGermanium DepositionTitanium Adhesion LayerGold Reflection Layer

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