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Fabrication de Films couleur ultra-mince avec hautement absorbant Media Depot en Angle Oblique
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Fabrication of Ultra-thin Color Films with Highly Absorbing Media Using Oblique Angle Deposition
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Fabrication de Films couleur ultra-mince avec hautement absorbant Media Depot en Angle Oblique

DOI:
10.3791/56383-v

•

06:30 min

•

August 29, 2017

•

, , ,
1School of Electrical Engineering and Computer Science,Gwangju Institute of Science and Technology, 2Department of Robotics Engineering,Daegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology

Chapters

  • 00:05Title
  • 00:56Substrate Preparation and Oblique Angle Deposition of Germanium
  • 03:23Oblique Angle Deposition of Ge on Large Substrates
  • 04:50Results: Ultra-thin Color Films
  • 05:40Conclusion

Summary

Automatic Translation

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Nous présentons une méthode détaillée pour fabriquer des films ultra-minces de couleur avec des caractéristiques améliorées pour des revêtements optiques. La technique de dépôt angle oblique à l’aide d’un évaporateur de faisceau d’électrons permet accordabilité meilleure couleur et pureté. Films fabriqués de Ge et de l’UA sur substrats de Si ont été analysés par les mesures de réflectance et conversion d’informations de couleur.

Tags

Ultra-thin Color FilmsOblique Angle DepositionPorosity ControlThin Film ColorationOptical Resonance ApplicationsNanofabricationGermanium DepositionTitanium Adhesion LayerGold Reflection Layer

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