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Herstellung und Betrieb von Acoustofluidic Devices Unterstützung Bulk-Acoustic-Standing Waves für sheathless Fokussierung der Partikel
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Fabrication and Operation of Acoustofluidic Devices Supporting Bulk Acoustic Standing Waves for Sheathless Focusing of Particles
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Herstellung und Betrieb von Acoustofluidic Devices Unterstützung Bulk-Acoustic-Standing Waves für sheathless Fokussierung der Partikel

DOI:
10.3791/53861-v

•

10:14 min

•

March 06, 2016

•

, , , ,
1NSF Research Triangle Materials Research Science and Engineering Center,Duke University, 2Department of Biomedical Engineering,Duke University, 3Department of Mechanical Engineering and Materials Science,Duke University

Chapters

  • 00:05Title
  • 00:57Photolithography
  • 02:13Deep Reactive Ion Etching
  • 02:55Piranha Cleaning
  • 03:46Anodic Bonding
  • 05:41Finalizing the Acoustofluidic Device
  • 06:44Operating the Acoustofluidic Device
  • 08:01Results: Acoustofluidic Devices Support Bulk Acoustic Standing Waves
  • 09:03Conclusion

Summary

Automatic Translation

Automatic Translation

Acoustofluidic Geräte verwenden Ultraschallwellen in mikrofluidischen Kanälen zu manipulieren, zu konzentrieren und suspendierten Mikro- und nanoskopische Einheiten zu isolieren. Dieses Protokoll beschreibt die Herstellung und den Betrieb einer solchen Vorrichtung bulk acoustic stehenden Wellen tragenden Teilchen in einem zentralen Strömungslinie zu konzentrieren, ohne die Hilfe von Mantelflüssigkeiten.

Tags

Acoustofluidic DevicesBulk Acoustic Standing WavesSheathless Particle FocusingMicrofabricationPhotolithographyDeep Reactive Ion EtchingSilicon Wafer Processing

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