Journal
/
Engineering
/
Real-Time DC-דינמית הטיית שיטה להחלפת זמן שיפור בשולים בשדה קשות Underdamped תנעי MEMS אלקטרוסטטית
JoVE Journal
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Engineering
Real-Time DC-dynamic Biasing Method for Switching Time Improvement in Severely Underdamped Fringing-field Electrostatic MEMS Actuators
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Real-Time DC-דינמית הטיית שיטה להחלפת זמן שיפור בשולים בשדה קשות Underdamped תנעי MEMS אלקטרוסטטית

DOI:
10.3791/51251-v

•

11:44 min

•

August 15, 2014

•

, , , ,
1Department of Electrical and Computer Engineering,University of California, Davis, 2Digital Light Projection (DLP) Technology Development,Texas Instruments, 3Birck Nanotechnology Center and the Department of Electrical and Computer Engineering,Purdue University

Chapters

  • 00:05Title
  • 01:08Fabrication of Electrostatic Fringing-field Actuated (EFFA) MEMS Fixed-fixed Beams
  • 08:28Experimental Validation of Dynamic Waveform Biasing
  • 10:23Results: Measured Pull-down and Released States of a MEMS Bridge
  • 11:16Conclusion

Summary

Automatic Translation

Automatic Translation

עיצוב המכשיר חזק של תוצאות מפעילי MEMS אלקטרוסטטי fringing שדה בתנאי מיסוד נמוכים לסחוט סרט דעיכת ופעמים רבות יישוב בעת ביצוע פעולות מיתוג באמצעות הטיית צעד קונבנציונלית. בזמן אמת מיתוג שיפור זמן עם צורות גל DC-דינמיים מקטין את הזמן ליישב של שולים בשדה MEMS מפעילים כאשר מעבר בין up-to-למטה ולמטה אל את המדינות.

Tags

Real-time DC-dynamic BiasingSwitching Time ImprovementUnderdamped Fringing-field Electrostatic MEMS ActuatorsFast Switching OperationSettling TimeTransient Applied Bias WaveformsMechanical Quality FactorSubstrate RemovalReliabilityStictionCharge PumpCMOS ProcessingExperimental ValidationSwitching Time Improvement

Article

Embed

ADD TO PLAYLIST

Usage Statistics

Related Videos

תהליך ייצור של מפעילי אלסטומר דיאלקטרי מבוסס סיליקון

עדשה-פחות קומפקטי מיקרוסקופ הולוגרפי הדיגיטלי פיקוח MEMS ואפיון

מתנעים אור בצורה חופשית - ייצור ובקרה של Actuation ב בקנה מידה מיקרוסקופי

ייצור של 3D מערכות מיקרואלקטרו-מכניות פחמן (C-MEMS)

עיצוב, אפיון מתודולוגיה למסננים Tunable MEMS יעיל לטווח רחב

צמיחה ו Electrostatic/כימי מאפיינים של מתכת/LaAlO3/SrTiO3 Heterostructures

ייצור של מפעילים רשת פנאומטיים רך עם המלוכסן צ'יימברס

תהליך איטום מיטבי וניטור זמן-אמת של מבני חותם זכוכית-מתכת

הייצור המהיר של הפעילים הפניאומטיים והרובוטים הדקים

ב מיקרוסקופ אלקטרונים שידור Situ עם הטיה והפיקה של מוטות אסימטריים המבוססים על מעורב שלבים a-VOx

Read Article