Journal
/
Engineering
/
في الوقت الحقيقي DC-ديناميكية لتبديل طريقة يتحامل تحسين الوقت في Underdamped بشدة التهديب الميدان كهرباء MEMS المحركات
JoVE Journal
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Engineering
Real-Time DC-dynamic Biasing Method for Switching Time Improvement in Severely Underdamped Fringing-field Electrostatic MEMS Actuators
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

في الوقت الحقيقي DC-ديناميكية لتبديل طريقة يتحامل تحسين الوقت في Underdamped بشدة التهديب الميدان كهرباء MEMS المحركات

العربية

Automatically Generated

10,169 Views

•

11:44 min

•

August 15, 2014

DOI:

10.3791/51251-v

DOI:
10.3791/51251-v

•

11:44 min
August 15, 2014

•

3 Views
, , , ,
1Department of Electrical and Computer Engineering,University of California, Davis, 2Digital Light Projection (DLP) Technology Development,Texas Instruments, 3Birck Nanotechnology Center and the Department of Electrical and Computer Engineering,Purdue University

Summary

Automatically generated

تصميم جهاز قوي من الميدان التهديب كهرباء النتائج المحركات MEMS في انخفاض ضغط بطبيعتها فيلم التخميد الظروف والأوقات تسوية طويلة عند تنفيذ عمليات التحويل باستخدام التقليدية خطوة يتحامل. في الوقت الحقيقي التحويل التحسن الوقت مع الطول الموجي DC-ديناميكية يقلل من الوقت تسوية من الميدان التهديب ممس المحركات عند الانتقال بين ما يصل إلى أسفل وأسفل إلى فوق الدول.

Explore More Videos

Real-time DC-dynamic BiasingSwitching Time ImprovementUnderdamped Fringing-field Electrostatic MEMS ActuatorsFast Switching OperationSettling TimeTransient Applied Bias WaveformsMechanical Quality FactorSubstrate RemovalReliabilityStictionCharge PumpCMOS ProcessingExperimental ValidationSwitching Time Improvement

Read Article

Cite this Article

Small, J., Fruehling, A., Garg, A., Liu, X., Peroulis, D. Real-Time DC-dynamic Biasing Method for Switching Time Improvement in Severely Underdamped Fringing-field Electrostatic MEMS Actuators. J. Vis. Exp. (90), e51251, doi:10.3791/51251 (2014).

Download .ris file

Copy

Share Video

.

Copy