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白光干涉表面改性中的应用离子溅射，激光烧蚀，与摩擦学实验表征
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Characterization of Surface Modifications by White Light Interferometry: Applications in Ion Sputtering, Laser Ablation, and Tribology Experiments
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白光干涉表面改性中的应用离子溅射，激光烧蚀，与摩擦学实验表征

DOI:
10.3791/50260-v

•

11:47 min

•

February 27, 2013

•

, , , , ,
1Materials Science Division,Argonne National Laboratory, 2Energy Systems Division,Argonne National Laboratory, 3MassThink LLC

Chapters

  • 00:05Title
  • 02:42Measurement of Wear Scar Volume using Optical Interferometry
  • 07:07Volume Analysis: Line Wear Scar
  • 08:53Volume Analysis: Ion Sputter Crater
  • 10:45Conclusion

Summary

Automatic Translation

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白色光镜干涉是一个光学，非接触式和快速的方法，用于测量的表面的地形。它示出如何使用该方法可以应用于朝向机械磨损分析，其中穿疤痕对摩擦磨损试验样品进行了分析，以及在材料科学中，以确定离子束溅射或激光烧蚀的体积和深度。

Tags

White Light InterferometryOptical ProfilometrySurface TopographyIon SputteringLaser AblationTribologySurface RoughnessWearDepth ProfilingMaterials Characterization

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