1Mechatronics Research Lab, Department of Mechanical Engineering,Massachusetts Institute of Technology, 2Mechatronics Group, Department of Mechanical Engineering,Ilmenau University of Technology, 3Production and Precision Measurement Technology Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology,Ilmenau University of Technology, 4Nanoscale Systems Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology,Ilmenau University of Technology, 5nano analytik GmbH
Крупномасштабный контроль образцов с наноразмерным разрешением имеет широкий спектр применения, особенно для наноготовых полупроводниковых пластин. Атомно-силовые микроскопы могут быть отличным инструментом для этой цели, но они ограничены скоростью визуализации. В этой работе используются параллельные активные консольные массивы в АСМ для обеспечения высокой пропускной способности и крупномасштабных проверок.
