1Mechatronics Research Lab, Department of Mechanical Engineering,Massachusetts Institute of Technology, 2Mechatronics Group, Department of Mechanical Engineering,Ilmenau University of Technology, 3Production and Precision Measurement Technology Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology,Ilmenau University of Technology, 4Nanoscale Systems Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology,Ilmenau University of Technology, 5nano analytik GmbH
L’ispezione di campioni su larga scala con risoluzione su scala nanometrica ha un’ampia gamma di applicazioni, in particolare per i wafer semiconduttori nanofabbricati. I microscopi a forza atomica possono essere un ottimo strumento per questo scopo, ma sono limitati dalla loro velocità di imaging. Questo lavoro utilizza array a sbalzo attivi paralleli in AFM per consentire ispezioni ad alta produttività e su larga scala.
