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Chapters
- 00:05Title
- 01:08Fabrication of Electrostatic Fringing-field Actuated (EFFA) MEMS Fixed-fixed Beams
- 08:28Experimental Validation of Dynamic Waveform Biasing
- 10:23Results: Measured Pull-down and Released States of a MEMS Bridge
- 11:16Conclusion
O design robusto dispositivo de franja-campo eletrostático atuadores MEMS resultados em condições de amortecimento de compressão de filme inerentemente baixos e longos tempos de sedimentação ao realizar operações de comutação usando polarização passo convencional. Em tempo real a mudança melhora o tempo com formas de ondas DC-dinâmicos reduz o tempo de estabilização de franjas em campo MEMS atuadores quando a transição entre-se para baixo e para baixo-à-up estados.
Tags
Real-time DC-dynamic BiasingSwitching Time ImprovementUnderdamped Fringing-field Electrostatic MEMS ActuatorsFast Switching OperationSettling TimeTransient Applied Bias WaveformsMechanical Quality FactorSubstrate RemovalReliabilityStictionCharge PumpCMOS ProcessingExperimental ValidationSwitching Time Improvement
