Summary

Diseño, Fabricación y Caracterización Experimental de Plasmónicos Emisores terahercios fotoconductoras

Published: July 08, 2013
doi:

Summary

Se describen métodos para el diseño, fabricación y caracterización experimental de los emisores fotoconductoras plasmónica, que ofrecen dos órdenes de niveles de potencia más altos terahercios magnitud en comparación con los emisores fotoconductoras convencionales.

Abstract

En este artículo de vídeo se presenta una demostración detallada de un método altamente eficiente para la generación de las ondas de terahercios. Nuestra técnica se basa en fotoconducción, que ha sido una de las técnicas más utilizadas para la generación de terahertz 1-8. Generación de terahercios en un emisor de fotoconductora se logra mediante el bombeo de un fotoconductor ultrarrápido con una iluminación láser pulsado o heterodina. La fotocorriente inducida, que sigue a la envolvente de la bomba de láser, se encamina a una antena radiante de terahercios conectado a los electrodos de contacto del fotoconductor para generar la radiación de terahercios. Aunque la eficiencia cuántica de un emisor de fotoconductora puede alcanzar teóricamente 100%, las relativamente largas longitudes de trayecto de transporte de portadores foto-generados a los electrodos de contacto de fotoconductores convencionales han limitado gravemente su eficiencia cuántica. Además, el efecto de la detección de portadores y la descomposición térmica limitan estrictamente el p salida máximaower de las fuentes de terahertz fotoconductoras convencionales. Para hacer frente a las limitaciones de eficiencia cuántica de emisores de terahercios fotoconductoras convencionales, hemos desarrollado un nuevo concepto emisor fotoconductora que incorpora una configuración de electrodo de contacto plasmónica para ofrecer alta eficiencia cuántica y funcionamiento ultrarrápido simultáneamente. Mediante el uso de electrodos de contacto plasmónicas nano escala, se reduce significativamente la trayectoria de transporte portadora fotogenerada promedio de electrodos de contacto fotoconductor en comparación con fotoconductores convencionales 9. Nuestro método también permite aumentar la superficie activa del fotoconductor sin un aumento considerable de la carga capacitiva a la antena, aumentando la potencia máxima de la radiación de terahercios mediante la prevención de los efectos de detección de portador y la descomposición térmica a altas potencias de bombeo óptico. Mediante la incorporación de electrodos de contacto plasmónica, se demuestra la mejora de la eficiencia de conversión de potencia óptica-a-terahercios de un fotoconductor TE convencionalrahertz emisor por un factor de 50 10.

Introduction

Nosotros presentamos un nuevo emisor de terahercios fotoconductora que utiliza una configuración de electrodo de contacto plasmónica para mejorar la eficiencia de conversión óptica-a-terahercios por dos órdenes de magnitud. Nuestra técnica se ocupa de las limitaciones más importantes de emisores convencionales fotoconductoras terahertz, es decir, bajo la producción de energía y la escasa eficiencia de energía, que se originan a partir de la compensación inherente entre la alta eficiencia cuántica y operación ultrarrápida de fotoconductores convencionales.

Una de las novedades clave en nuestro diseño que llevaron a esta mejora de rendimiento a saltos es el diseño de una configuración de electrodo de contacto que se acumula un gran número de portadores foto-generados en las proximidades de los electrodos de contacto, de manera que puedan ser recogidos dentro de un sub- picosegundo calendario. En otras palabras, la solución de compromiso entre la operación ultrarrápida fotoconductor y alta eficiencia cuántica se mitiga por la manipulación espacial de la foto-génerosportadores Ted. Electrodos de contacto Plasmónicos ofrecen esta capacidad única de (1) que permite el confinamiento de luz en áreas activas de dispositivos a nanoescala entre los electrodos plasmónicas (más allá del límite de difracción), (2) mejora extraordinaria luz al contacto de metal y foto-absorción de la interfaz semiconductor 10, 11. Otro atributo importante de nuestra solución es que tiene capacidad para grandes áreas activas del fotoconductor sin un aumento considerable de la carga parasitaria a la antena radiante de terahercios. La utilización de grandes áreas activas fotoconductor permiten mitigar el efecto de detección de portador y la descomposición térmica, que son las limitaciones en última instancia para la potencia máxima de la radiación de emisores fotoconductoras convencionales. Este artículo de vídeo se concentra en los atributos únicos de nuestra solución presentada mediante la descripción de la física que gobierna, modelación numérica, y la verificación experimental. Se demuestra experimentalmente 50 veces más altos poderes de terahercios de una Phot plasmónicaemisor oconductive en comparación con un emisor de fotoconductora similar con electrodos de contacto no plasmónica.

Protocol

1. Plasmónicas Fabricación emisor Photoconductive Fabrique rejillas plasmónica. Limpiar la oblea de semiconductor mediante la inmersión en acetona (2 min) seguido de isopropanol (2 min), y aclarado con agua desionizada (10 seg). Secar la muestra con nitrógeno y se calienta en una placa caliente a 115 ° C durante 90 segundos para eliminar cualquier resto de agua. Spin MicroChem 950K PMMA A4 en la muestra a 4000 rpm durante 45 seg. Pre-hornear la resisten en una placa caliente…

Representative Results

Para demostrar el potencial de los electrodos plasmónica para la mejora de potencia de terahercios, se han fabricado dos emisores de terahercios: un emisor fotoconductora convencional (Figura 1a) y plasmónica (Figura 1b) la incorporación de electrodos de contacto plasmónica para reducir los tiempos de transporte de portadores para ponerse en contacto con los electrodos. Ambos diseños consisten en un fotoconductor ultrarrápido con 20 micras brecha entre el ánodo y el cátodo conta…

Discussion

En este artículo de vídeo, se presenta una técnica de generación de terahercios fotoconductora novedoso que utiliza una configuración de electrodo de contacto plasmónica para mejorar la eficiencia de conversión óptica-a-terahercios por dos órdenes de magnitud. El aumento significativo de la potencia de radiación de terahercios desde los emisores fotoconductoras plasmónicas presentados es muy valiosa para el futuro de alta sensibilidad de terahercios formación de imágenes, la espectroscopia y sistemas de esp…

Disclosures

The authors have nothing to disclose.

Acknowledgements

Los autores desean agradecer a Picometrix para proporcionar el sustrato LT-GaAs y agradecen el apoyo financiero de Michigan Espacio Beca Consorcio, DARPA Premio Joven Facultad dirigido por el Dr. John Albrecht (contrato # N66001-10-1-4027), NSF CARRERA Premio dirigido por el Dr. Samir El-Ghazaly (contrato # N00014-11-1-0096), ONR Premio Joven Investigador dirigido por el Dr. Paul Maki (contrato # N00014-12-1-0947), y ARO Premio Joven Investigador gestionado por Dr. Dev. Palmer (contrato # W911NF-12-1-0253).

Materials

      Reagent
Polymethyl Methacrylate (PMMA) MicroChem 950K PMMA A4  
Hexamethyldisilazane (HMDS) Shin-Etsu MicroSI MicroPrime HP Primer  
Optical Photoresist Dow Chemical Megaposit SPR 220-3.0  
Photoresist Developer AZ Electronic Materials AZ 300 MIF Developer  
Methyl Iso-Butyl Keytone (MIBK) Avantor Performance Materials 9322-03  
      Equipment
Ti:Sapphire Mode-Locked Laser Coherent MIRA 900D V10 XW OPT 110V  
Pyroelectric Detector Spectrum Detector SPI-A-65 THz  
Electron-Beam Lithography Tool JEOL JBX-6300-FS  
Plasma Stripper Yield Engineering Systems YES-CV200RFS  
Metal Evaporator Denton Vacuum SJ-20  
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Tool GSI GSI PECVD System  
Projection Lithography Stepper GCA AutoStep 200  
Reactive Ion Etcher LAM Research 9400  
Parameter Analyzer Hewlett Packard 4155A  
Optical Chopper Thorlabs MC2000  
Lock-in Amplifier Stanford Research Systems SR830  
Electrooptic Modulator Thorlabs EO-AM-NR-C2  
Motorized Linear Stage Thorlabs NRT100  

References

  1. Preu, S., Dohler, G. H., Malzer, S., Wang, L. J., Gossard, A. C. Tunable, continuous-wave terahertz photomixer sources and applications. J. Appl. Phys. 109, 061301 (2011).
  2. Bjarnason, J. E., Chan, T. L. J., Lee, A. W. M., Brown, E. R., Driscoll, D. C., Hanson, M., Gossard, A. C., Muller, R. E. ErAs:GaAs photomixer with two-decade tunability and 12 μW peak output power. Appl. Phys. Lett. 85, 3983-3985 (2004).
  3. Peytavit, E., Lepilliet, S., Hindle, F., Coinon, C., Akalin, T., Ducournau, G., Mouret, G., Lampin, J. -. F. Milliwatt-level output power in the sub-terahertz range generated by photomixing in a GaAs photoconductor. Appl. Phys. Lett. 99, 223508 (2011).
  4. Upadhya, P. C., Fan, W., Burnett, A., Cunningham, J., Davies, A. G., Linfield, E. H., Lloyd-Hughes, J., Castro-Camus, E., Johnston, M. B., Beere, H. Excitation-density-dependent generation of broadband terahertz radiation in an asymmetrically excited photoconductive antenna. Opt. Lett. 32, 2297-2299 (2007).
  5. Roehle, H., Dietz, R. J. B., Hensel, H. J., Böttcher, J., Künzel, H., Stanze, D., Schell, M., Sartorius, B. Next generation 1.5 μm terahertz antennas: mesa-structuring of InGaAs/InAlAs photoconductive layers. Opt. Express. 18, 2296-2301 (2010).
  6. Taylor, Z. D., Brown, E. R., Bjarnason, J. E. Resonant-optical-cavity photoconductive switch with 0.5 % conversion efficiency and 1.0W peak power. Opt. Lett. 31, 1729-1731 (2006).
  7. Park, S. -. G., Jin, K. H., Yi, M., Ye, J. C., Ahn, J., Jeong, K. -. H. Enhancement of Terahertz Pulse Emission by Optical Nanoantenna. ACS NANO. 6, 2026-2031 (2012).
  8. Auston, D. H., Cheung, K. P., Smith, P. R. Picosecond photocoducting Hertzian dipoles. Appl. Phys. Lett. 45, 284-286 (1984).
  9. Berry, C. W., Jarrahi, M. Terahertz generation using plasmonic photoconductive gratings. New Journal of Physics Focus Issue on Terahertz Plasmonics. 14, 105029 (2012).
  10. Berry, C. W., Hashemi, M. R., Unlu, M., Jarrahi, M. Significant Radiation Enhancement in Photoconductive Terahertz Emitters by Incorporating Plasmonic Contact Electrodes. arXiv. , 1209.1680v1 (2012).
  11. Berry, C. W., Jarrahi, M. Ultrafast Photoconductors based on Plasmonic Gratings. Proc. Int. Conf. Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves. , 1-2 (2011).
  12. Berry, C. W., Jarrahi, M. Plasmonically-enhanced localization of light into photoconductive antennas. Proc. Conf. Lasers and Electro-Optics. , CFI2 (2010).
  13. Berry, C. W., Jarrahi, M. Principles of impedance matching in photoconductive antennas. Journal of Infrared, Millimeter and Terahertz. , (2012).
  14. Ralph, S. E., Grischkowsky, D. Trap-enhanced electric fields in semi-insulators: The role of electrical and optical carrier injection. Appl. Phys. Lett. 59, 1972 (1991).
  15. Upadhya, P. C., Fan, W., Burnett, A., Cunningham, J., Davies, A. G., Linfield, E. H., Lloyd-Hughes, J., Castro-Camus, E., Johnston, M. B., Beere, H. Excitation-density-dependent generation of broadband terahertz radiation in an asymmetrically excited photoconductive antenna. Opt. Lett. 32, 2297-2299 (2007).
  16. Taylor, Z. D., Brown, E. R., Bjarnason, J. E. Resonant-optical-cavity photoconductive switch with 0.5 % conversion efficiency and 1.0W peak power. Opt. Lett. 31, 1729-1731 (2006).
  17. Jarrahi, M. Terahertz radiation-band engineering through spatial beam-shaping. Photonic Technology Letters. 21, 2019620 (2009).
  18. Jarrahi, M., Lee, T. H. High power tunable terahertz generation based on photoconductive antenna arrays. Proc. IEEE International Microwave Symposium. , 391-394 (2008).
  19. Beck, M., Schafer, H., Klatt, G., Demsar, J., Winnerl, S., Helm, M., Dekorsy, T. Impulsive terahertz radiation with high electric fields from an amplifier-driven large-area photoconductive antenna. Opt. Express. 18, 9251-9257 (2010).
  20. Hattori, T., Egawa, K., Ookuma, S. I., Itatani, T. Intense terahertz pulses from large-aperture antenna with interdigitated electrodes. Jpn. J. Appl. Phys. 45, L422-L424 (2006).
  21. Kim, J. H., Polley, A., Ralph, S. E. Efficient photoconductive terahertz source using line excitation. Opt. Lett. 30, 2490-2492 (2005).
  22. Dreyhaupt, A., Winnerl, S., Dekorsy, T., Helm, M. High-intensity terahertz radiation from a microstructured large-area photoconductor. Appl. Phys. Lett. 86, 121114 (2005).
  23. Brown, E. R., Lee, A. W. M., Navi, B. S., Bjarnason, J. E. Characterization of a planar self-complementary square-spiral antenna in the THz region. Microwave Opt. Technol. Lett. 48, 524-529 (2006).
  24. Huo, Y., Taylor, G. W., Bansal, R. Planar log-periodic antennas on extended hemishperical silicon lenses for millimeter/submillimeter wave detection applications. Int. J. Infrared and Millimeter Waves. 23, 819 (2002).
  25. Heshmat, B., Pahlevaninezhad, H., Pang, Y., Masnadi-Shirazi, M., Lewis, R. B., Tiedje, T., Gordon, R., Darcie, T. E. . Nanoplasmonic Terahertz Photoconductive Switch on GaAs. Nano Lett. 12, 6255-6259 (2012).
  26. Berry, C. W., Hashemi, M. R., Unlu, M., Jarrahi, M. Significant Performance Enhancement in Photoconductive Terahertz Optoelectronics by Incorporating Plasmonic Contact Electrodes. Nature Communications. 4, 1622 (2013).
  27. Wang, N., Berry, C. W., Hashemi, M. R., Jarrahi, M. Plasmonic photoconductive detectors for enhanced terahertz detection sensitivity. Optics Express. , (2013).
  28. Hsieh, B. -. Y., Jarrahi, M. Analysis of periodic metallic nano-slits for efficient interaction of terahertz and optical waves at nano-scale dimensions. J. Appl. Phys. 109, 084326 (2011).
  29. Hsieh, B. -. Y., Wang, N., Jarrahi, M. Toward Ultrafast Pump-Probe Measurements at the Nanoscale. Special Issue of “Optics in 2011. Optics & Photonics News. 22, (2011).
  30. Hsieh, B. -. Y., Jarrahi, M. Simultaneous focusing of terahertz and optical waves into nano-scale. Proc. Int. Conf. Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves. , 1-2 (2011).
  31. Jackson, A. W., Ibbetson, J. P., Gossard, A. C., Mishra, U. K. Reduced thermal conductivity in low-temperature grown GaAs. Appl. Phys. Lett. 74, 2325-2327 (1999).

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Berry, C., Hashemi, M. R., Unlu, M., Jarrahi, M. Design, Fabrication, and Experimental Characterization of Plasmonic Photoconductive Terahertz Emitters. J. Vis. Exp. (77), e50517, doi:10.3791/50517 (2013).

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