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Deposición de capa atómica de dióxido de vanadio y un modelo óptico dependiente de la temperatura
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工学
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JoVE Journal 工学
Atomic Layer Deposition of Vanadium Dioxide and a Temperature-dependent Optical Model
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Deposición de capa atómica de dióxido de vanadio y un modelo óptico dependiente de la temperatura

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11:10 min

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May 23, 2018

DOI:

10.3791/57103-v

DOI:
10.3791/57103-v

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11:10 min
May 23, 2018

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, ,
1Naval Research Laboratory

概要

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Películas delgadas (100-1000 Å) de dióxido de vanadio (VO2) fueron creadas por la deposición de capa atómica (ALD) sobre sustratos de zafiro. Después de esto, las propiedades ópticas fueron caracterizadas a través de la transición metal aislante de VO2. De las propiedades ópticas de medida, un modelo fue creado para describir el índice de refracción ajustable de VO2.

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Currie, M., Mastro, M. A., Wheeler, V. D. Atomic Layer Deposition of Vanadium Dioxide and a Temperature-dependent Optical Model. J. Vis. Exp. (135), e57103, doi:10.3791/57103 (2018).

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