ジャーナル
/
工学
/
Атомно-слоевое осаждение диоксид ванадия и температур зависимая оптические модели
JoVE Journal
工学
This content is Free Access.
JoVE Journal 工学
Atomic Layer Deposition of Vanadium Dioxide and a Temperature-dependent Optical Model
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Атомно-слоевое осаждение диоксид ванадия и температур зависимая оптические модели

11,546 Views

•

11:10 min

•

May 23, 2018

DOI:

10.3791/57103-v

DOI:
10.3791/57103-v

•

11:10 min
May 23, 2018

•

3 Views
, ,
1Naval Research Laboratory

概要

Automatically generated

Тонких пленок (100-1000 Å) диоксид ванадия (VO2) были созданы атомно слоевого осаждения (МОП) на подложках сапфира. После этого оптические свойства были охарактеризованы через переходный металл диэлектрик VO2. От измеряемых оптических свойств для описания настраиваемых преломления VO2была создана модель.

Explore More Videos

Atomic Layer DepositionVanadium DioxideTemperature-dependent Optical ModelPhase Change MaterialsThin Film DepositionSapphire SubstrateOzoneTEMAVMetal-insulator TransitionRefractive IndexAnnealingUltra-high Vacuum

Read Article

Cite this Article

Currie, M., Mastro, M. A., Wheeler, V. D. Atomic Layer Deposition of Vanadium Dioxide and a Temperature-dependent Optical Model. J. Vis. Exp. (135), e57103, doi:10.3791/57103 (2018).

Download .ris file

Copy

Share Video

.

Copy