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二酸化バナジウムと温度依存性の光学モデルの原子層堆積法
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May 23, 2018
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概要
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二酸化バナジウム (VO2) の薄膜 (100-1000 Å) は、サファイア基板上の原子層堆積法 (ALD) によって作成されました。次に、光学特性は VO2の金属-絶縁体転移によって特徴付けられました。測定の光学特性から VO2の可変の屈折を記述するモデルを作成しました。
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Currie, M., Mastro, M. A., Wheeler, V. D. Atomic Layer Deposition of Vanadium Dioxide and a Temperature-dependent Optical Model. J. Vis. Exp. (135), e57103, doi:10.3791/57103 (2018).
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