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Dépôt de couches atomiques du dioxyde de Vanadium et un modèle optique dépend de la température
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May 23, 2018
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概要
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Couches minces (100-1000 Å) de dioxyde de vanadium (VO2) ont été créés par le dépôt de couches atomiques (ALD) sur des substrats de saphir. Suite à cela, les propriétés optiques ont été caractérisées par l’intermédiaire de la transition métal-isolant de VO2. Des propriétés optiques mesurées, un modèle a été créé pour décrire l’indice de réfraction accordable de VO2.
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Currie, M., Mastro, M. A., Wheeler, V. D. Atomic Layer Deposition of Vanadium Dioxide and a Temperature-dependent Optical Model. J. Vis. Exp. (135), e57103, doi:10.3791/57103 (2018).
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