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Formation of Thick Dense Yttrium Iron Garnet Films Using Aerosol Deposition
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La formación de gruesas densos itrio Iron Garnet Films Usando Aerosol Deposición

DOI:
10.3791/52843-v

•

10:52 min

•

May 15, 2015

•

, , ,
1Power Electronics Branch,Naval Research Laboratory, 2Physics of Electronic Materials Branch,Naval Research Laboratory

Chapitres

  • 00:05Titre
  • 01:42Aerosol Deposition Equipment and Experiment Preparation
  • 04:51Establishing the Pressure Gradient and Collecting Data
  • 08:44Results: Morphology and Properties of an Aerosol Deposition Film of YIG on a Sapphire Substrate
  • 10:26Conclusion

Summary

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En este informe se describe el uso de un sistema hecho a medida para realizar la deposición de aerosoles de películas gruesas de granate de itrio hierro sobre sustratos de zafiro a RT. Las películas depositadas se caracterizan mediante microscopía electrónica de barrido, perfilometría, y resonancia ferromagnética para dar una visión general representativa de las capacidades de la técnica.

Tags

Keywords: Aerosol DepositionYttrium Iron GarnetThick Film DepositionHigh-density FilmsFerromagnetic ResonanceScanning Electron MicroscopyFilm Characterization

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