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浓稠钇铁石榴石薄膜的形成使用气溶胶沉积
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Formation of Thick Dense Yttrium Iron Garnet Films Using Aerosol Deposition
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浓稠钇铁石榴石薄膜的形成使用气溶胶沉积

DOI:
10.3791/52843-v

•

10:52 min

•

May 15, 2015

•

, , ,
1Power Electronics Branch,Naval Research Laboratory, 2Physics of Electronic Materials Branch,Naval Research Laboratory

Chapitres

  • 00:05Titre
  • 01:42Aerosol Deposition Equipment and Experiment Preparation
  • 04:51Establishing the Pressure Gradient and Collecting Data
  • 08:44Results: Morphology and Properties of an Aerosol Deposition Film of YIG on a Sapphire Substrate
  • 10:26Conclusion

Summary

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本报告描述了使用定制系统来在RT执行的钇铁石榴石厚膜的气溶胶沉积在蓝宝石衬底。使用扫描电子显微镜，轮廓，和铁磁谐振得到的技术的功能的代表性概述淀积膜的特征在于。

Tags

Keywords: Aerosol DepositionYttrium Iron GarnetThick Film DepositionHigh-density FilmsFerromagnetic ResonanceScanning Electron MicroscopyFilm Characterization

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