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制备纳米设计的脉冲激光沉积透明导电氧化物
Journal JoVE
Ingénierie
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Fabrication of Nano-engineered Transparent Conducting Oxides by Pulsed Laser Deposition
DOI:

10:27 min

February 27, 2013

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Chapitres

  • 00:05Titre
  • 01:30Substrate Preparation
  • 02:01Laser Alignment and Selection of Laser Parameters
  • 03:33Target Alignment, Pre-ablation and Data Collection for Plasma Plume Length Determination
  • 04:51Calibration of the Film Thickness
  • 05:58Deposition of Compact AZO Films
  • 07:25Deposition of Hierarchically Structured AZO Films
  • 08:08Results: Compact and Forest-like AZO Films and Their Properties
  • 09:39Conclusion

Summary

Traduction automatique

我们描述了实验的背景气体的存在下,在纳秒的脉冲激光沉积(PLD)方法来沉积纳米结构的氧化物薄膜。通过使用此方法的掺Al的ZnO(AZO)膜,从紧凑型分层结构为纳米树森林,可以沉积。

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