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Fabrication de nano-oxydes conducteurs transparents conçus par ablation laser
Journal JoVE
Ingénierie
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Journal JoVE Ingénierie
Fabrication of Nano-engineered Transparent Conducting Oxides by Pulsed Laser Deposition
DOI:

10:27 min

February 27, 2013

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Chapitres

  • 00:05Titre
  • 01:30Substrate Preparation
  • 02:01Laser Alignment and Selection of Laser Parameters
  • 03:33Target Alignment, Pre-ablation and Data Collection for Plasma Plume Length Determination
  • 04:51Calibration of the Film Thickness
  • 05:58Deposition of Compact AZO Films
  • 07:25Deposition of Hierarchically Structured AZO Films
  • 08:08Results: Compact and Forest-like AZO Films and Their Properties
  • 09:39Conclusion

Summary

Traduction automatique

Nous décrivons la méthode expérimentale pour déposer des films minces nanostructurés oxyde par dépôt laser nanoseconde pulsé (PLD) en présence d'un gaz de fond. En utilisant cette méthode d'Al-dopés ZnO (AZO) des films, de la compacte à hiérarchiquement structuré comme nano-arbres des forêts, peuvent être déposés.

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