Journal
/
Ingeniería
/
Fremstilling af nanohøjdekanaler med Surface Acoustic Wave-aktivering via lithiumniobat til akustisk nanofluidics
JoVE Revista
Ingeniería
Se requiere una suscripción a JoVE para ver este contenido.  Inicie sesión o comience su prueba gratuita.
JoVE Revista Ingeniería
Fabrication of Nanoheight Channels Incorporating Surface Acoustic Wave Actuation via Lithium Niobate for Acoustic Nanofluidics

Fremstilling af nanohøjdekanaler med Surface Acoustic Wave-aktivering via lithiumniobat til akustisk nanofluidics

DOI:
10.3791/60648-v

•

07:23 min

•

February 05, 2020

•

,
1Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering, and the Department of Surgery, School of Medicine,University of California San Diego

Capítulos

  • 00:05Introduction
  • 00:54Nano-height Channel Mask Preparation
  • 01:53Nano-height Channel Fabrication
  • 02:49Room Temperature Plasma-activated Bonding
  • 04:56Experimental Setup and Testing
  • 05:54Results: Representative Fluid Capillary Filling and Surface Acoustic Wave (Saw)-Induced Fluid Draining
  • 06:45Conclusion

Summary

Traducción Automática

Traducción Automática

Vi demonstrerer fabrikation af nanohøjdekanaler med integration af akustiske bølgeaktiveringsanordninger på overfladen, når lithiumniobate for akustisk nanofluidics via liftoff fotolitografi, nanodybdereaktiv ionætsning og plasma ved stuetemperatur overfladeaktiveret flerlagsbinding af enkeltkrystallithiumniobat, en proces, der ligeledes er nyttig til limning af lithiumniobat til oxider.

Tags

Nanoheight ChannelsSurface Acoustic WaveLithium NiobateAcoustic NanofluidicsNanofabricationPlasma BondingPhotolithographyReactive Ion EtchingChromium EtchingSolvent Cleaning

Article

Embed

Añadir a la lista de reproducción

Usage Statistics

Videos relacionados

Syntese af Phase-shift nanoemulsions med smalle størrelse distributioner til Akustisk Droplet fordampning og Bubble-forstærket Ultralyd-medieret Ablation

Solid-state podningscopolymer Elektrolytter for lithium batteri applikationer

Fabrikation, Drift og Flow Visualisering i Overflade-akustisk-bølgedrevne Acoustic-modstrøms Microfluidics

Fremstilling af ensartede nanoskala hulrum via Silicon Direct Wafer Bonding

Mønster via optisk mættede Transitions - fremstilling og karakterisering

Karakterisering af komplet sæt Materiale konstanter og deres temperatur Afhængighed for piezoelektriske materialer Brug Resonant Ultralyd spektroskopi

Free-form Light aktuatorer - Fabrikation og Kontrol af aktivering i Mikroskopisk Scale

Fabrikation og drift af Acoustofluidic Devices Støtte Bulk Acoustic stående bølger for Sheathless Fokusering af partikler

Fokuseret Ion Beam fabrikation af LiPON-baseret Solid-state Lithium-ion Nanobatteries til In Situ test

Microparticle Manipulation af stående overflade akustiske bølger med Dual-frekvens excitationer

Read Article