/
/
Fabricage van Nanoheight Channels waarin Surface Acoustic Wave Actuation via Lithium Niobate voor Akoestische Nanofluidics
Se requiere una suscripción a JoVE para ver este contenido. Inicie sesión o comience su prueba gratuita.
Capítulos
- 00:05Introduction
- 00:54Nano-height Channel Mask Preparation
- 01:53Nano-height Channel Fabrication
- 02:49Room Temperature Plasma-activated Bonding
- 04:56Experimental Setup and Testing
- 05:54Results: Representative Fluid Capillary Filling and Surface Acoustic Wave (Saw)-Induced Fluid Draining
- 06:45Conclusion
We demonstreren fabricage van nanohoogtekanalen met de integratie van oppervlakte akoestische golfactuatie-apparaten op lithium niobate voor akoestische nanofluidica via liftoff fotolithografie, nano-diepte reactieve ionets en kamertemperatuurplasma oppervlakte-geactiveerde meerlaagse binding van enkelkristallithium niobaat, een proces dat ook nuttig is voor het plakken van lithiumniobate aan oxiden.
