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제조 및 Acoustofluidic 장치의 작동은 입자의 초점 쉬스에 대한 대량 음향 서 파도 지원
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Fabrication and Operation of Acoustofluidic Devices Supporting Bulk Acoustic Standing Waves for Sheathless Focusing of Particles
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제조 및 Acoustofluidic 장치의 작동은 입자의 초점 쉬스에 대한 대량 음향 서 파도 지원

DOI:
10.3791/53861-v

•

10:14 min

•

March 06, 2016

•

, , , ,
1NSF Research Triangle Materials Research Science and Engineering Center,Duke University, 2Department of Biomedical Engineering,Duke University, 3Department of Mechanical Engineering and Materials Science,Duke University

Kapitel

  • 00:05Titel
  • 00:57Photolithography
  • 02:13Deep Reactive Ion Etching
  • 02:55Piranha Cleaning
  • 03:46Anodic Bonding
  • 05:41Finalizing the Acoustofluidic Device
  • 06:44Operating the Acoustofluidic Device
  • 08:01Results: Acoustofluidic Devices Support Bulk Acoustic Standing Waves
  • 09:03Conclusion

Summary

Automatische Übersetzung

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Acoustofluidic 장치는 조작 집중 정지 마이크로 및 나노 요소를 분리하는 미세 유체 채널 내에서 초음파를 사용합니다. 이 프로토콜은 피복 유체의 도움없이 중앙 유선형 입자를 집중 벌크 음향 정상파와 같은지지 장치의 제조 및 동작을 설명한다.

Tags

Acoustofluidic DevicesBulk Acoustic Standing WavesSheathless Particle FocusingMicrofabricationPhotolithographyDeep Reactive Ion EtchingSilicon Wafer Processing

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