这里介绍的是一个通过微机械张力测试测量基本材料特性的程序。描述了微拉伸试样制造(通过结合光刻,化学蚀刻和聚焦离子束铣削,允许从块状材料体积中快速制造微试样),压头尖端改性和微机械张力测试(包括示例)的方法。