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収差補正走査透過電子顕微鏡と 1 桁台のナノメートルの電子ビーム露光
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September 14, 2018
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収差補正走査透過電子顕微鏡を使用して、2 つの広く使われている電子線レジストに 1 桁台のナノメートル パターンを定義する: ポリ (メチルメタクリ レート) と水素シルセスキオキサン。レジスト パターン選択のターゲット材料打ち上げ、エッチング、プラズマを使用して 1 桁台のナノメートル忠実に再現可能し、有機金属錯体による浸透に抵抗します。
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Camino, F. E., Manfrinato, V. R., Stein, A., Zhang, L., Lu, M., Stach, E. A., Black, C. T. Single-Digit Nanometer Electron-Beam Lithography with an Aberration-Corrected Scanning Transmission Electron Microscope. J. Vis. Exp. (139), e58272, doi:10.3791/58272 (2018).
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