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Herstellung von flexiblen Bildsensor basierend auf seitliche NIPIN Fototransistoren
JoVE 杂志
工程学
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JoVE 杂志 工程学
Fabrication of Flexible Image Sensor Based on Lateral NIPIN Phototransistors
DOI:

09:59 min

June 23, 2018

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Chapters

  • 00:05Title
  • 00:26Si Doping and Isolation
  • 02:12Sacrificial Oxide Layer Deposition
  • 02:59Deposition of the First Layer of Polyimide and Performing the First Metallization
  • 04:43Deposition of the Second Layer of Polyimide and Performing the Second Metallization
  • 05:12Encapsulating the Sample with Polyimide and Opening via Holes and Mesh Structure
  • 05:56Etching the Sacrificial Layer and Transferring the Sample to a Flexible Substrate
  • 07:39Results: Current-Voltage Characteristics for the Phototransistor Array in the Curved State
  • 08:45Conclusion

Summary

自动翻译

Wir präsentieren Ihnen eine detaillierte Methode, um eine verformbare seitliche NIPIN Fototransistor-Array für gebogene Bildsensoren zu fabrizieren. Der Fototransistor-Array mit einer offene Mesh-Form, die von dünnen Silizium-Inseln und dehnbare Metall Verbindungsleitungen zusammengesetzt ist, bietet Flexibilität und Dehnbarkeit. Der Parameter-Analyzer charakterisiert die elektrischen Eigenschaften von den vorgefertigten Fototransistor.

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