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Aerossol-assistida de deposição de Vapor químico de estruturas de óxido de Metal: hastes de óxido de zinco
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Aerosol-assisted Chemical Vapor Deposition of Metal Oxide Structures: Zinc Oxide Rods

Aerossol-assistida de deposição de Vapor químico de estruturas de óxido de Metal: hastes de óxido de zinco

DOI:
10.3791/56127-v

•

06:39 min

•

September 14, 2017

•

, , , ,
1Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC), 2SIX Research Centre,Brno University of Technology, 3Institute of Physics of Material,Academy of Science of Czech Republic, 4Institute of Physical Engineering and Central European Institute of Technology,Brno University of Technology

Chapters

  • 00:05Title
  • 00:51Preparation of Substrates and Set-up of Deposition Temperature
  • 02:08Preparation of Solution for Aerosol Generation
  • 03:02Chemical Vapor Deposition Process
  • 04:00Results: Characterization of Zinc Oxide Rods Deposited on Silicon Substrates via Chemical Vapor Deposition
  • 05:39Conclusion

Summary

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Estruturas de colunar de óxido de zinco na forma de barras são sintetizadas por deposição de vapor químico assistida por aerossol sem o uso de partículas de catalisador-semente previamente depositadas. Este método é escalável e compatível com vários substratos baseados em silício, quartzo ou polímeros.

Tags

Keywords: Aerosol-assisted Chemical Vapor DepositionMetal Oxide StructuresZinc Oxide RodsSilicon SubstrateCatalyst-free GrowthLow-temperature DepositionGas Sensors

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