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金属氧化物结构的气溶胶辅助化学气相沉积: 氧化锌棒

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Aerosol-assisted Chemical Vapor Deposition of Metal Oxide Structures: Zinc Oxide Rods

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金属氧化物结构的气溶胶辅助化学气相沉积: 氧化锌棒

DOI:

10.3791/56127-v

•

06:39 min

•

September 14, 2017

•

Stella Vallejos², Naděžda Pizúrová, Jan Čechal, Isabel Gràcia, Carles Cané

¹Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC), ²SIX Research Centre,Brno University of Technology, ³Institute of Physics of Material,Academy of Science of Czech Republic, ⁴Institute of Physical Engineering and Central European Institute of Technology,Brno University of Technology

Chapters

00:05Title
00:51Preparation of Substrates and Set-up of Deposition Temperature
02:08Preparation of Solution for Aerosol Generation
03:02Chemical Vapor Deposition Process
04:00Results: Characterization of Zinc Oxide Rods Deposited on Silicon Substrates via Chemical Vapor Deposition
05:39Conclusion

Summary

自动翻译

在不使用 pre-deposited 催化剂-种子颗粒的情况下, 通过气溶胶辅助化学气相沉积法合成柱状氧化锌结构。这种方法是可伸缩和兼容的各种基板的基础上, 无论是硅, 石英或聚合物。

Tags

Aerosol-assisted Chemical Vapor Deposition Metal Oxide Structures Zinc Oxide Rods Silicon Substrate Catalyst-free Growth Low-temperature Deposition Gas Sensors

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