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에 어로 졸 기반 구조 금속 산화물의 화학 증기 증 착: 산화 아연 막대
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Aerosol-assisted Chemical Vapor Deposition of Metal Oxide Structures: Zinc Oxide Rods
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에 어로 졸 기반 구조 금속 산화물의 화학 증기 증 착: 산화 아연 막대

DOI:
10.3791/56127-v

•

06:39 min

•

September 14, 2017

•

, , , ,
1Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC), 2SIX Research Centre,Brno University of Technology, 3Institute of Physics of Material,Academy of Science of Czech Republic, 4Institute of Physical Engineering and Central European Institute of Technology,Brno University of Technology

Chapters

  • 00:05Title
  • 00:51Preparation of Substrates and Set-up of Deposition Temperature
  • 02:08Preparation of Solution for Aerosol Generation
  • 03:02Chemical Vapor Deposition Process
  • 04:00Results: Characterization of Zinc Oxide Rods Deposited on Silicon Substrates via Chemical Vapor Deposition
  • 05:39Conclusion

Summary

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막대의 형태로 산화 아연 열 구조는 미리 입금된 촉매 씨 입자의 사용 없이 졸 기반 화학 기상 증 착을 통해 합성 됩니다. 이 메서드는 확장 가능 하 고 다양 한 기판 실리콘, 석 영 또는 고분자와 호환.

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Keywords: Aerosol-assisted Chemical Vapor DepositionMetal Oxide StructuresZinc Oxide RodsSilicon SubstrateCatalyst-free GrowthLow-temperature DepositionGas Sensors

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