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微粒化およびアユースト流体のための厚さモード圧電デバイスの作製と特性
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Fabrication and Characterization of Thickness Mode Piezoelectric Devices for Atomization and Acoustofluidics

微粒化およびアユースト流体のための厚さモード圧電デバイスの作製と特性

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10:39 min

August 05, 2020

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10:39 min
August 05, 2020

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リチウムニオベート上のプレート電極の直流スパッタリングを介した圧電厚度モードトランスデューサの作製について説明する。さらに、トランスデューサホルダーと流体供給システムで信頼性の高い操作が実現され、インピーダンス分析、レーザードップラービブロメトリー、高速イメージング、およびレーザー散乱を用いた液滴サイズ分布によって特性評価が実証されます。

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