Journal
/
Engineering
/
Рендеринг SiO2/Si Поверхности Omniphobic путем резьбы газо-захват микротекстуры состоит из Reentrant и вдвойне Reentrant полости или столбы
JoVE Journal
Engineering
This content is Free Access.
JoVE Journal Engineering
Rendering SiO2/Si Surfaces Omniphobic by Carving Gas-Entrapping Microtextures Comprising Reentrant and Doubly Reentrant Cavities or Pillars
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Рендеринг SiO2/Si Поверхности Omniphobic путем резьбы газо-захват микротекстуры состоит из Reentrant и вдвойне Reentrant полости или столбы

русский

Automatically Generated

8,582 Views

•

08:02 min

•

February 11, 2020

DOI:

10.3791/60403-v

DOI:
10.3791/60403-v

•

08:02 min
February 11, 2020

•

6 Views
, , , , , ,
1Water Desalination and Reuse Center (WDRC), Biological and Environmental Science and Engineering (BESE) Division,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST), 2Core Labs,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST)

Summary

Automatically generated

Эта работа представляет протоколы микрофабрикации для достижения полостей и столбов с реантентировать и вдвойне reentrant профилей на SiO2/ Si пластин с использованием фотолитографии и сухой травления. В результате микротекстурированные поверхности демонстрируют замечательную жидкое отталкивание, характеризующееся надежным длительным захватом воздуха под смачивающие жидкости, несмотря на внутреннюю влажность кремнезема.

Explore More Videos

SiO2/Si SurfacesOmniphobicGas-entrapping MicrotexturesReentrant CavitiesDoubly Reentrant CavitiesPillarsPhotolithographyDry EtchingMicrofabricationSilicon WaferThermal OxidePiranha SolutionHexamethyldisilazanePhotoresistSpin CoatingUV Exposure

Read Article

Cite this Article

Arunachalam, S., Domingues, E. M., Das, R., Nauruzbayeva, J., Buttner, U., Syed, A., Mishra, H. Rendering SiO2/Si Surfaces Omniphobic by Carving Gas-Entrapping Microtextures Comprising Reentrant and Doubly Reentrant Cavities or Pillars. J. Vis. Exp. (156), e60403, doi:10.3791/60403 (2020).

Download .ris file

Copy

Share Video

.

Copy